山东探微科技有限公司成立四年多，将光学相干断层成像（OCT）技术从眼科检测延伸至半导体量测领域。该公司推出的明鉴系列晶圆多维质量检测设备，旨在打破国外设备长期把持的半导体量测环节。明鉴系列目前包括明鉴01和明鉴02两款型号，分别采用850纳米和1300纳米中心波长，面向不同透光特性的晶圆材料。与传统需分多道工序且常需切割样品的检测方式不同，明鉴设备能通过一束光一次性获取晶圆上下表面及内部结构的三维图像，实现非接触、无损检测。其轴向重复精度达6.9纳米，可完成3—8英寸晶圆的厚度分布、TTV等参数测量。
在核心部件方面，探微科技面对供应链挑战，联合济南本地光电企业研发替代器件，通光效率优于进口产品且成本更低。目前，明鉴OCT检测系统的光源、耦合器、光谱仪等核心部件均由公司自主设计调试，软件由自有工程师编写，并结合深度学习算法进行缺陷检测，与山东华光、锐峰光电等本地企业形成配套。这种自主化路径不仅提升了供应链稳定性，也体现了初创企业在关键技术环节的突破能力。
探微科技创始人宋维业依托山东大学科研平台创办公司，团队采用硕博预研与工程化协同模式。在济南地方政府支持及资金资助下，企业已承接多项国家级及省级重点研发计划。明鉴系列目前处于样机验证阶段，计划明年上半年完成实际销售落地，并逐步向省内及全国半导体企业辐射。
半导体量测技术正从单一表面检测向多维内部无损检测演进，底层光学成像技术的跨界应用为产业链提供新的检测维度。
